证券之星消息,根据企查查数据显示敏芯股份(688286)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“MEMS芯片封装结构及电子设备”,专利申请号为CN5.6,授权日为2024年2月13日。
专利摘要:本申请公开了一种MEMS芯片封装结构及电子设备。包括:基板、壳体、MEMS芯片以及ASIC芯片,所述基板与所述壳体固定连接以形成腔体,所述MEMS芯片和所述ASIC芯片均位于所述腔体内;其中,所述基板面向所述壳体的一侧设置有支撑结构,所述支撑结构包括支撑部和连接部,在所述基板的厚度方向上,所述支撑部与所述基板之间具有间隙,所述支撑部连接在所述连接部的远离所述基板的一侧,所述MEMS芯片与所述支撑部固定连接,所述ASIC芯片位于所述支撑部与所述基板之间的间隙内。采用本申请提供的技术方案,减少了MEMS芯片与基板之间的接触面积,可在一定程度上减少高过载冲击带来的应力传递,提高了MEMS芯片整体抗高过载能力。
今年以来敏芯股份新获得专利授权14个,较去年同期增加了16.67%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了3770.04万元,同比增5.36%。
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